本機器適用加工產品為鏡片、車燈、飾品、相機鏡頭、手機鏡頭及外殼、DVD讀寫頭等等產品的鍍膜,真空鍍膜運用擴及3C產業。
規格
腔體尺寸 2050
蒸發源 電子束源
沉積控制 QCM(選項:人事管理局)
基板夾具 可選:分段圓頂(3/6/7),翻轉,行早夾具
控制系統 HOPE(過程控制和監控-PC系統)
單槍
阻蒸
霍爾源
晶控 (XTC/3)
雙擴散泵
羅茨泵 (愛德華)
機械泵 (萊寶)
品牌 | 型號 | 數量 |
韓國SNTEK | 2050 | 1臺 |
萊寶 | APS1104 | 1臺 |
聯合 | UNIVAC-2050 | 2臺 |
龍翩 | LP-2050EBA | 1臺 |
龍翩 | LP-1800EBA | 2臺 |
龍翩 | LP-1650EBA | 1臺 |
龍翩 | LP-1400EBA | 1臺 |
光馳 | OTFC-1300 | 2臺 |
韓一 | HVC-1600DA | 1臺 |
韓一 | HVC-2050DA | 3臺 |